Модель 470 — это современный датчик растворенного озона, разработанный для инструментов мокрого стенда для полупроводников и многих других промышленных процессов. Он обеспечивает непрерывное измерение растворенного озона в демонизированной воде или серных ваннах с концентрацией до 150 мг/л.
Модель 470 «готова к очистке» для высокочистых полупроводниковых процессов и разработана для простого сращивания в линию в контуре рециркуляции любого инструмента мокрого стенда с расходом до 150 SLPM.
Датчик модели 470 включает в себя инновационную технологию двойного оптического пути измерения образца для обеспечения непревзойденной производительности и фактически устраняет необходимость в измерении эталонной жидкости.
Типичная установка состоит из датчика 470 и соединительного кабеля с оболочкой из тефлона 7.
Датчик 470 включает в себя возможность удаленной передачи измеряемой концентрации с помощью аналоговых или цифровых сигналов на консоль мокрого стенда.
Особенности:Мониторинг на месте
Встроенный, с возможностью полного потока
Прямоточный путь потока
Нет движущихся частей
Нет расходных материалов
Диапазон до 150 мг/л
Дистанционная калибровка нуля
Высокоточный метод поглощения УФ- излучения
Метод определения образца с двойным оптическим путем
Не требует регулярное техническое обслуживание
Смачиваемые материалы полупроводникового класса
Компактный корпус из стеклопластика
Соединительный кабель с оболочкой Teflon 7
Применение:
- Растворенный озон в жидкой фазе
- Полупроводниковые мокрые стенды
- Системы сверхчистой воды
- Фармацевтическая индустрия
- Области применения для очистки воды
- Другие промышленные процессы