SCI -552 — это системный контроллер для систем доставки озона, который обеспечивает электронные интерфейсы управления для ряда типичных компонентов системы, включая: генераторы озона, клапаны EV, регуляторы массового расхода, регуляторы обратного давления, датчики озона Teledyne API 452, Teledyne Датчики растворенного озона API 470 и охладитель воды.
SCI-552 имеет аппаратную и программную поддержку ряда функций системной блокировки. SCI-552 обеспечивает гибкость для конечного пользователя, позволяя управлять системой через пользовательский интерфейс на передней панели, последовательный интерфейс MODBUS или различные дискретные цифровые и аналоговые входы/выходы. SCI-552 предназначен для поддержки двух генераторов озона, обеспечивающих два независимых канала выхода озона.
- Удаленная поддержка RS-232 MODBUS
- Управление до 2 генераторов озона
- Интерфейс с двумя датчиками озона модели 452 и модели 470
- Управление до 4 регуляторов массового расхода
- Управление до 2 контроллеров обратного давления
- Управление до 2 клапанов EV
- Управление охладителем воды
- Входы блокировки системы
- Удаленное управление на уровне системы и ввод-вывод состояния
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
- Атомно-слоевое осаждение (ALD)
- Оксидный рост
- Кондиционирование поверхности
- Озоление
- Очистка частиц
- Удаление фоторезиста
- Другие