Серия OPTI-Sense
Недисперсионные инфракрасные мониторы

Датчики серии OPTI-Sense основаны на технологии недисперсионного инфракрасного излучения (NDIR). Они предназначены для точного измерения поглощения в инфракрасном спектре специальных газов, обычно используемых в полупроводниковых приборах. Они очень компактны и не содержат движущихся частей, что делает OPTI-Sense надежным и идеальным устройством для непрерывного мониторинга газа на месте в полупроводниковых процессах.
Все датчики OPTI-Sense оснащены аналоговыми и цифровыми интерфейсами, что упрощает их интеграцию в любой технологический процесс. Доступны конфигурации для измерения одно- и двухкомпонентных газов.

- Недисперсионное инфракрасное излучение (NDIR)
- Идеально подходит для любых газов, поглощающих инфракрасное излучение (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 и других видов) - проконсультируйтесь с заводом по поводу вашего применения.
- Быстрое время отклика
- Высокая чувствительность
- Видоспецифичный
- Нет расходных материалов
- Нет движущихся частей

Полупроводник